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技術(shù)文章/ article

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  • 2024-08-27

    全自動磁控濺射系統(tǒng)是一種利用磁場控制等離子體濺射技術(shù)在基材上沉積薄膜的材料制備設(shè)備。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電、材料科學(xué)、裝飾鍍膜等領(lǐng)域,用于生產(chǎn)各種功能性和裝飾性薄膜。通過精確控制濺射過程中的各種參數(shù),實(shí)現(xiàn)了高效率、高穩(wěn)定性和高質(zhì)量的薄膜沉積。工作原理基于濺射效應(yīng),即在真空環(huán)境下,通過電場加速的氣體離子(通常是氬離子)轟擊靶材,使靶材原子或分子被轟擊出來,然后沉積在基材上形成薄膜。磁控部分則是通過靶材背后的磁場設(shè)計,有效延長了電子在等離子體中的運(yùn)動路徑,提高了氣體離化率和濺射效...

  • 2024-08-13

    靜態(tài)SIMS是一種非常靈敏的表面分析技術(shù),能在只消耗樣品單層一小部分的情況下,獲得詳細(xì)的質(zhì)譜圖。被分析的分子來自固體表面前幾層,這對于探討材料關(guān)鍵區(qū)域例如附著力或催化等性質(zhì)至關(guān)重要。Kore公司的TOF-SIMSSurfaceSeer系列產(chǎn)品為科研和工業(yè)領(lǐng)域提供了高性價比的表面分析解決方案。以下數(shù)據(jù)展示了SurfaceSeer儀器在材料研究和分析方面的一些優(yōu)勢。實(shí)驗(yàn)質(zhì)量分辨率和準(zhǔn)確性圖1.污染鋁接頭近來,儀器的質(zhì)量分辨率和準(zhǔn)確度均已經(jīng)提高到2000(M/ΔM)以上。上圖展示了...

  • 2024-08-06

    飛行時間二次離子質(zhì)譜(TOF-SIMS)是一種表面分析技術(shù),它將脈沖一次離子束聚焦到樣品表面,在濺射過程中產(chǎn)生二次離子。分析這些二次離子可提供有關(guān)樣品表面的分子、無機(jī)和元素種類的信息。例如,如果表面吸附了有機(jī)污染物(如油),TOF-SIMS將揭示這些信息,而其他技術(shù)則難以實(shí)現(xiàn),特別是在污染物含量極低的情況下。由于TOF-SIMS是一種測量技術(shù),因此通常可以檢測到元素周期表中的所有元素,包括H。此外,這種分析可以提供質(zhì)譜信息;樣品上XY維度的圖像信息;以及Z方向的深度剖面信息到...

  • 2024-08-01

    什么是TOFSIMS?它可以應(yīng)用于哪些領(lǐng)域?能提供哪些信息?哪些樣品適用(哪些不適用)?在這一系列文章中,我們將解答所有這些問題,以及更多探討。飛行時間二次離子質(zhì)譜法(ToFSIMS)是一種用于研究固體表面和薄膜的三維化學(xué)組成的表面分析技術(shù)。聚焦的一次離子束轟擊目標(biāo)表面,產(chǎn)生中性原子/分子、二次離子和電子。二次離子通過飛行時間質(zhì)譜儀進(jìn)行收集和分析。質(zhì)譜儀通過精確測量離子到達(dá)探測器所需的時間(即“飛行時間”)來測量離子的質(zhì)荷比(m/z)。通過掃描一次離子束在樣品表面的區(qū)域,可以...

  • 2024-06-24

    二次離子質(zhì)譜儀是一種強(qiáng)大的表面分析工具,它能夠在微觀層面上提供關(guān)于材料成分和結(jié)構(gòu)的詳細(xì)信息。它的應(yīng)用范圍廣泛,從材料科學(xué)到生物醫(yī)學(xué),從半導(dǎo)體工業(yè)到地球科學(xué)。盡管SIMS具有許多優(yōu)勢,但它的操作和維護(hù)相對復(fù)雜,需要專業(yè)的技術(shù)人員和持續(xù)的培訓(xùn)。二次離子質(zhì)譜儀的技術(shù)原理:1.一次離子束:一次離子束是由離子源產(chǎn)生的高能離子,通常使用銫離子,它們被加速到高能量并聚焦成細(xì)小的束流。2.二次離子產(chǎn)生:當(dāng)一次離子束轟擊樣品表面時,會將表面原子或分子激發(fā)為離子,即二次離子。3.質(zhì)譜分析:產(chǎn)生的...

  • 2024-05-28

    空間環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備是一種高精尖的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備,旨在模擬太空中的特殊環(huán)境條件,如超低溫、高真空、太陽輻射、微重力、宇宙射線、原子氧侵蝕等。這些設(shè)備對于研發(fā)和測試航天器、衛(wèi)星、探測器以及其他將要在太空中使用的材料和系統(tǒng)至關(guān)重要。空間環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備應(yīng)用領(lǐng)域:1.航天器研制:對整星或部件進(jìn)行環(huán)境試驗(yàn),驗(yàn)證其性能和可靠性。2.材料研究:測試新材料在太空環(huán)境下的性能,為航天器選材提供依據(jù)。3.生命科學(xué):研究生物組織在太空環(huán)境下的變化,為載人航天提供支持。4.物理科學(xué)實(shí)驗(yàn):在模擬的太空環(huán)...

  • 2024-04-26

    空間環(huán)境模擬試驗(yàn)設(shè)備是一種用于在地面模擬宇宙空間環(huán)境的高科技測試系統(tǒng)。這類設(shè)備通常用于對航天器、衛(wèi)星、空間站等航天器材進(jìn)行環(huán)境適應(yīng)性測試,確保它們能夠在真實(shí)的外太空環(huán)境中正常工作。通過一系列的高技術(shù)手段來模擬外太空的環(huán)境。例如,使用真空泵系統(tǒng)來模擬太空的真空環(huán)境;利用加熱和制冷裝置來模擬溫度的特殊變化;通過紫外燈或粒子加速器來模擬太陽輻射;以及利用高速粒子噴射或機(jī)械沖擊裝置來模擬微流星體的沖擊效果。這些設(shè)備通常配備有精密的控制系統(tǒng)和監(jiān)測儀器,以確保測試條件的精確性和重復(fù)性???..

  • 2024-03-25

    微波等離子去膠機(jī)是一種先進(jìn)的半導(dǎo)體制造設(shè)備,用于去除晶圓表面的光刻膠。在半導(dǎo)體制造過程中,光刻是一種關(guān)鍵技術(shù),通過它可以將電路圖案轉(zhuǎn)移到硅片上。光刻過程需要在硅片表面涂覆一層光敏材料,稱為光刻膠。在光刻過程完成后,需要將未曝光的光刻膠去除,這一步驟稱為去膠。傳統(tǒng)的去膠方法包括濕化學(xué)清洗和等離子清洗,但這些方法可能會對硅片表面造成損傷或者處理效率較低。等離子去膠機(jī)利用微波激發(fā)的等離子體來去除光刻膠,具有高效、環(huán)保、對硅片表面無損傷等優(yōu)點(diǎn)。微波等離子去膠機(jī)的工作原理是利用微波能量...

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