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  • 2023-08-27

    微波等離子清洗機(jī)是一種高效、環(huán)保的清洗設(shè)備,通過(guò)利用等離子體技術(shù),在微波場(chǎng)作用下進(jìn)行清洗。它不僅具有優(yōu)異的清潔效果,而且還能夠節(jié)省時(shí)間和資源,成為現(xiàn)代家庭和工業(yè)領(lǐng)域中*清洗工具。利用微波技術(shù)和等離子體技術(shù)相結(jié)合,能夠?qū)Ω鞣N物體進(jìn)行深層次的清洗。首先,將待清洗的物體放置在清洗室內(nèi),然后啟動(dòng)設(shè)備。微波場(chǎng)會(huì)產(chǎn)生高頻振蕩,使物體中的水分分子受熱蒸發(fā),產(chǎn)生大量的蒸汽。同時(shí),微波場(chǎng)還會(huì)激發(fā)氣體中的原子和分子,形成等離子體。這些等離子體以高速運(yùn)動(dòng)和碰撞的方式,能夠?qū)⑽矬w表面附著的污物和油漬...

  • 2023-07-23

    硅片清洗機(jī)是一種專(zhuān)門(mén)用于清洗半導(dǎo)體硅片的設(shè)備。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,硅片經(jīng)常需要進(jìn)行清洗以去除表面的污染物和殘留物,以確保良好的電性能和可靠性。清洗機(jī)通過(guò)一系列自動(dòng)化步驟來(lái)完成清洗過(guò)程,提高效率和一致性。其優(yōu)點(diǎn)包括高效性、自動(dòng)化程度高以及清洗過(guò)程的一致性。它可以大大提高硅片的表面質(zhì)量和可靠性,從而為半導(dǎo)體制造工藝提供穩(wěn)定的基礎(chǔ)。硅片清洗機(jī)通常由以下幾個(gè)主要組件組成:1.浸泡槽:清洗液被存儲(chǔ)在浸泡槽中,硅片將被浸泡在清洗液中以去除表面污染物。浸泡槽通常具有恒溫功能,可以控制清洗液...

  • 2023-06-25

    光學(xué)鍍膜設(shè)備是一種用于制造光學(xué)器件的關(guān)鍵工具。它可以通過(guò)在材料表面上涂覆一層特定厚度和折射率的薄膜來(lái)改變光的傳播方式和反射率,從而實(shí)現(xiàn)調(diào)節(jié)光學(xué)器件的性能和功能。核心部分是真空腔室和鍍膜源。在真空腔室中,通過(guò)抽取氣體使得其內(nèi)部壓強(qiáng)低于大氣壓,從而避免了材料與環(huán)境氧化和污染。鍍膜源則是通過(guò)物理或化學(xué)方法產(chǎn)生鍍膜材料蒸汽或離子束,使其在材料表面上沉積形成薄膜。光學(xué)鍍膜設(shè)備的工作流程如下:(1)準(zhǔn)備樣品:清洗樣品表面并放置在真空腔室內(nèi)。(2)真空預(yù)處理:打開(kāi)真空泵,抽出腔室內(nèi)的氣體,...

  • 2023-05-28

    微波等離子化學(xué)氣相沉積(MPCVD)系統(tǒng)是一種用于制備薄膜的先進(jìn)技術(shù),該技術(shù)利用了微波輻射和等離子體化學(xué)反應(yīng)的優(yōu)勢(shì)。該系統(tǒng)包括一個(gè)微波發(fā)生器、一個(gè)反應(yīng)室、一個(gè)氣體供應(yīng)系統(tǒng)和一個(gè)真空泵組成。首先,微波發(fā)生器產(chǎn)生高頻電磁場(chǎng),并將能量輸送到反應(yīng)室中,使得氣體分子與微波電場(chǎng)產(chǎn)生相互作用,激發(fā)其內(nèi)部電子從基態(tài)躍遷至激發(fā)態(tài)。這些激發(fā)態(tài)分子會(huì)與其他分子發(fā)生碰撞,從而形成等離子體。反應(yīng)室由不銹鋼材料制成,背面有水冷卻裝置,以控制反應(yīng)室溫度。室內(nèi)設(shè)置有樣品架,樣品架上放置待處理材料。在反應(yīng)室底...

  • 2023-04-23

    RIE-PE刻蝕機(jī)是一種高精度的半導(dǎo)體加工設(shè)備,被廣泛應(yīng)用于集成電路、MEMS和納米器件制造等領(lǐng)域。RIE-PE刻蝕技術(shù)是通過(guò)刻蝕氣體的等離子體在材料表面產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)和物理作用,從而實(shí)現(xiàn)高精度的微米、亞微米和納米級(jí)圖形加工的一種高效的方法?;驹硎抢玫入x子體在氧化物表面引起化學(xué)反應(yīng)的方式進(jìn)行淺刻蝕,然后使用惰性氣體進(jìn)行深刻蝕。這種刻蝕方法在半導(dǎo)體器件制造中得到了廣泛應(yīng)用,可實(shí)現(xiàn)精度在上微米(NM)量級(jí)以上的高精度加工。主要特點(diǎn)是能夠控制等離子體的氣氛、壓力、功率、速率等參...

  • 2023-03-26

    微波等離子去膠機(jī)是一種利用微波輻射和等離子技術(shù)將膠水分解、熱分解或氧化分解成氣態(tài)或液態(tài)的設(shè)備,主要用于去除化學(xué)膠、丙烯酸膠、雙面膠、硅膠等膠水。一、工作原理工作原理是:使用微波輻射將膠水加熱,膠水分子振動(dòng)并迅速升溫,膠水熱解并釋放出揮發(fā)性有機(jī)物,形成等離子體,并通過(guò)化學(xué)反應(yīng)消除揮發(fā)性有機(jī)物,使膠水揮發(fā),從而達(dá)到去除膠層的目的。二、使用方法1.準(zhǔn)備工作(1)將微波等離子去膠機(jī)放置在干燥、通風(fēng)位置。(2)檢查機(jī)器是否正常運(yùn)行,確認(rèn)電源和加熱是正常的。(3)將待去除膠水的物品放在去...

  • 2023-02-26

    等離子去膠機(jī)具有體積小,性能優(yōu)良、用途多、工藝速率高、均勻性及重復(fù)性好、價(jià)格低、使用方便等特點(diǎn)。是各電子器件企業(yè)及科研單位、大專(zhuān)院校的機(jī)型。適合于微電子制作工藝中光刻膠的去膠工藝,同時(shí)有RIE刻蝕功能,可以刻蝕Si、SiO2、SiN。已出口國(guó)外。等離子去膠機(jī)主要性能:1.開(kāi)放式設(shè)計(jì),可快速加載和卸載晶圓。2.基片放置在石英上,以避免濺射/再沉積電極材料3.通過(guò)頂部電極上的“蓮蓬頭”進(jìn)氣口將氣體注入工藝室4.電感耦合等離子體(ICP)和電極的獨(dú)立射頻發(fā)生器提供對(duì)離子能量和離子密...

  • 2022-12-29

    微波等離子清洗機(jī)是一種全新的高科技技術(shù),利用等離子體來(lái)達(dá)到常規(guī)清洗方法無(wú)法達(dá)到的效果。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見(jiàn)的固液氣三態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。微波等離子清洗機(jī)的優(yōu)勢(shì):1、清洗對(duì)象經(jīng)清洗機(jī)之后是干燥的,不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序??梢蕴岣?..

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